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　　這款手動(dòng)型晶圓探針臺(tái)廣泛用作分析探針臺(tái)和RF探針臺(tái),可測(cè)試200mm晶圓,性價(jià)比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤(pán)chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體器件測(cè)試和晶圓探針臺(tái)測(cè)試應(yīng)用。

　　手動(dòng)型晶圓探針臺(tái)特色

　　手動(dòng)操作樣品臺(tái)，行程范圍225mm x 225mm

　　加載或卸載晶圓非常方便

　　傳統(tǒng)的粗調(diào)和微調(diào)臺(tái)板設(shè)計(jì),范圍12.5mm

　　光滑的磁鐵臺(tái)板可支撐高達(dá)10個(gè)磁性或真空

　　高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

　　帶有相機(jī)接口

　　兩側(cè)帶有連接接口,適合連接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

　　標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺(tái)顯微鏡

　　可提供RF探針,RF卡盤(pán),RF隔離箱等附件

　　手動(dòng)型晶圓探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)

　　適合晶圓大?。?00mm

　　手動(dòng)XY位移臺(tái)： 行程范圍225mm x 225mm， 分辨率5um

　　臺(tái)板行程：12.7mm 或更大，

　　臺(tái)板調(diào)整：帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um

　　臺(tái)板平面度 lt;+/-12.7um @150mm長(zhǎng)度

　　臺(tái)板剛度： <5um @4.5kg

　　樣品夾盤(pán)規(guī)格

　　真空：多區(qū)真空

　　平面度：+/-13um

　　擊穿電壓：500V

　　隔離度：1G歐姆

　　調(diào)整：360度粗調(diào)， +/-6度微調(diào)

　　顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

　　電學(xué)接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

　　安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動(dòng)XY升級(jí)位移臺(tái)）

　　整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

　　凈重：85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件）