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特征
軟硬件垂直整合優(yōu)勢,并且采用高精密,高剛性直驅(qū)馬達,重復精度達±0.02mm,回轉(zhuǎn)半徑小,空間使用率高。
應用
適用于半導體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、膠環(huán))等取放設備。
天津隆創(chuàng)日盛科技有限公司
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RWD雙臂晶圓機器人

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特征
軟硬件垂直整合優(yōu)勢,并且采用高精密,高剛性直驅(qū)馬達,重復精度達±0.02mm,回轉(zhuǎn)半徑小,空間使用率高。
應用
適用于半導體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、膠環(huán))等取放設備。
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