瑞士VAT UHV系列超高真空閥門
一、UHV系列核心特性
1. 產品定位
類型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）
適用真空范圍：
標準版：10?? ~ 10?12 mbar
定制版：可達10?13 mbar（特殊烘烤設計）
核心優勢：
零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar="">（He檢漏）。
耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標準版）/ 450°C（定制版）。
無有機材料：全金屬結構，避免放氣污染。
2. 設計
雙密封系統：主密封（金屬刀口） + 次級密封（彈性補償）。
低扭矩驅動：磁耦合或波紋管傳動，避免軸封泄漏。
材料純度：316L不銹鋼（EP級電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。<>
二、型號分類與技術參數
1. 型號命名規則（以VAT UHV 24為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| UHV | 系列名稱（超高真空閥） |
| 24 | 通徑尺寸（24=DN40，54=DN100） |
| 后綴 | 驅動方式（如-M=手動，-A=氣動） |
2. 子型號對比表
| 型號 | 通徑 | 法蘭類型 | 驅動方式 | 漏率 | 烘烤溫度 | 價格范圍（￥） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VAT UHV 24-A | DN40 | CF-F | 氣動 | <1×10?12 mbar=""> | 250°C | 50,000~80,000 |
| VAT UHV 54-M | DN100 | ISO-K | 手動 | <1×10?12 mbar=""> | 300°C | 120,000~180,000 |
| VAT UHV 10-E | DN16 | ICF | 電動 | <1×10?13 mbar=""> | 450°C（定制） | 200,000+ |
3. 詳細技術參數
| 參數 | 標準值/范圍 |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - 漏率 | <1×10?12 mbar=""> |
| - 耐壓差 | 10?12 mbar ~ 大氣壓 |
| 機械性能 | |
| - 閥體材質 | 316L不銹鋼（EP級） |
| - 密封材質 | 銅/鋁鍍金或無氧銅 |
| - 循環壽命 | >50,000次（金屬密封） |
| 電氣/氣動參數 | |
| - 驅動方式 | 氣動（0.5~0.7MPa）/電動（24V DC） |
| - 響應時間 | 氣動版≤1s，電動版≤5s |
| 環境適應性 | |
| - 烘烤溫度 | 標準250°C，定制450°C |
| - 耐腐蝕性 | 兼容H?、O?、等離子體（需選配鍍層） |
三、典型應用場景
1. 半導體制造
應用：
刻蝕機/離子注入機的腔體隔離（防顆粒污染）。
分子束外延（MBE）系統的超高真空維持。
型號推薦：
VAT UHV 24-A（DN40，氣動快速隔離）。
2. 科研裝置
應用：
同步輻射光源的束線控制。
核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。
型號推薦：
VAT UHV 54-M（DN100，手動可靠密封）。
3. 航天與鍍膜
應用：
衛星推進劑儲罐的真空密封測試。
光學鍍膜機的腔體壓力調節。
型號推薦：
VAT UHV 10-E（DN16，電動精密控制）。
四、選型與安裝要點
1. 選型關鍵因素
通徑需求：根據流量計算（如DN40對應約20 L/s @10?? mbar）。
驅動方式：
氣動：快速開關（適合安全隔離）。
電動：可集成自動化控制（如PLC）。
法蘭標準：
CF法蘭：超高真空（金屬密封）。
ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。
2. 安裝規范
清潔要求：
安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無塵手套）。
扭矩控制：
CF法蘭螺栓需按對角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。
烘烤建議：
以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時。
五、維護與故障處理
| 故障現象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 漏率超標 | 密封面劃傷/顆粒污染 | 重新拋光密封面或更換閥座 |
| 閥門卡滯 | 高溫變形/潤滑不足 | 使用高溫潤滑脂（如Apiezon N） |
| 驅動失效 | 電磁閥故障（氣動版） | 檢查氣源壓力（≥0.5MPa） |
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