瑞士VAT UHV系列超高真空閥門(mén)
一、UHV系列核心特性
1. 產(chǎn)品定位
類(lèi)型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）
適用真空范圍：
標(biāo)準(zhǔn)版：10?? ~ 10?12 mbar
定制版：可達(dá)10?13 mbar（特殊烘烤設(shè)計(jì)）
核心優(yōu)勢(shì)：
零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar="">（He檢漏）。
耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標(biāo)準(zhǔn)版）/ 450°C（定制版）。
無(wú)有機(jī)材料：全金屬結(jié)構(gòu)，避免放氣污染。
2. 設(shè)計(jì)
雙密封系統(tǒng)：主密封（金屬刀口） + 次級(jí)密封（彈性補(bǔ)償）。
低扭矩驅(qū)動(dòng)：磁耦合或波紋管傳動(dòng)，避免軸封泄漏。
材料純度：316L不銹鋼（EP級(jí)電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。<>
二、型號(hào)分類(lèi)與技術(shù)參數(shù)
1. 型號(hào)命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）
| 代碼段 | 含義 |
|---|---|
| UHV | 系列名稱(chēng)（超高真空閥） |
| 24 | 通徑尺寸（24=DN40，54=DN100） |
| 后綴 | 驅(qū)動(dòng)方式（如-M=手動(dòng)，-A=氣動(dòng)） |
2. 子型號(hào)對(duì)比表
| 型號(hào) | 通徑 | 法蘭類(lèi)型 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 漏率 | 烘烤溫度 | 價(jià)格范圍（￥） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VAT UHV 24-A | DN40 | CF-F | 氣動(dòng) | <1×10?12 mbar=""> | 250°C | 50,000~80,000 |
| VAT UHV 54-M | DN100 | ISO-K | 手動(dòng) | <1×10?12 mbar=""> | 300°C | 120,000~180,000 |
| VAT UHV 10-E | DN16 | ICF | 電動(dòng) | <1×10?13 mbar=""> | 450°C（定制） | 200,000+ |
3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù) | 標(biāo)準(zhǔn)值/范圍 |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - 漏率 | <1×10?12 mbar=""> |
| - 耐壓差 | 10?12 mbar ~ 大氣壓 |
| 機(jī)械性能 | |
| - 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼（EP級(jí)） |
| - 密封材質(zhì) | 銅/鋁鍍金或無(wú)氧銅 |
| - 循環(huán)壽命 | >50,000次（金屬密封） |
| 電氣/氣動(dòng)參數(shù) | |
| - 驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng)（0.5~0.7MPa）/電動(dòng)（24V DC） |
| - 響應(yīng)時(shí)間 | 氣動(dòng)版≤1s，電動(dòng)版≤5s |
| 環(huán)境適應(yīng)性 | |
| - 烘烤溫度 | 標(biāo)準(zhǔn)250°C，定制450°C |
| - 耐腐蝕性 | 兼容H?、O?、等離子體（需選配鍍層） |
三、典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造
應(yīng)用：
刻蝕機(jī)/離子注入機(jī)的腔體隔離（防顆粒污染）。
分子束外延（MBE）系統(tǒng)的超高真空維持。
型號(hào)推薦：
VAT UHV 24-A（DN40，氣動(dòng)快速隔離）。
2. 科研裝置
應(yīng)用：
同步輻射光源的束線控制。
核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。
型號(hào)推薦：
VAT UHV 54-M（DN100，手動(dòng)可靠密封）。
3. 航天與鍍膜
應(yīng)用：
衛(wèi)星推進(jìn)劑儲(chǔ)罐的真空密封測(cè)試。
光學(xué)鍍膜機(jī)的腔體壓力調(diào)節(jié)。
型號(hào)推薦：
VAT UHV 10-E（DN16，電動(dòng)精密控制）。
四、選型與安裝要點(diǎn)
1. 選型關(guān)鍵因素
通徑需求：根據(jù)流量計(jì)算（如DN40對(duì)應(yīng)約20 L/s @10?? mbar）。
驅(qū)動(dòng)方式：
氣動(dòng)：快速開(kāi)關(guān)（適合安全隔離）。
電動(dòng)：可集成自動(dòng)化控制（如PLC）。
法蘭標(biāo)準(zhǔn)：
CF法蘭：超高真空（金屬密封）。
ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。
2. 安裝規(guī)范
清潔要求：
安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無(wú)塵手套）。
扭矩控制：
CF法蘭螺栓需按對(duì)角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。
烘烤建議：
以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時(shí)。
五、維護(hù)與故障處理
| 故障現(xiàn)象 | 可能原因 | 解決方案 |
|---|---|---|
| 漏率超標(biāo) | 密封面劃傷/顆粒污染 | 重新拋光密封面或更換閥座 |
| 閥門(mén)卡滯 | 高溫變形/潤(rùn)滑不足 | 使用高溫潤(rùn)滑脂（如Apiezon N） |
| 驅(qū)動(dòng)失效 | 電磁閥故障（氣動(dòng)版） | 檢查氣源壓力（≥0.5MPa） |
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