系統(tǒng)的傳輸線脈沖(TLP)測(cè)試和分析功能符合ANSI/ESD STM5.5.1-2014測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。ES620系統(tǒng)能夠向器件注入高質(zhì)量矩形波脈沖，同時(shí)記錄流經(jīng)器件的電流和器件兩端電壓。測(cè)試結(jié)果能夠提供脈沖式IV曲線，使用戶能夠表征器件在納秒級(jí)的瞬態(tài)響應(yīng)。系統(tǒng)還具有器件失效自動(dòng)化檢測(cè)方法，例如漏電流測(cè)試，靜態(tài)IV曲線，熔斷和火花放電。
超快TLP (vf-TLP) 測(cè)試和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。vf-TLP測(cè)試用于模擬CDM速度的靜電放電，捕捉高速（大約100ps上升沿）狀態(tài)下器件的電流和電壓。用戶可以通過(guò)這種方法測(cè)試器件的響應(yīng)速度和峰值電壓。
人體金屬模型(HMM) 測(cè)試和分析功能符合ANSI/ESD SP5. 6-2009測(cè)試方法，該方法可替代IEC61000-4-2中系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試方法，用于測(cè)試IC。當(dāng)測(cè)試低阻抗器件或者晶圓時(shí)，系統(tǒng)的該測(cè)試功能可以提供符合IEC61000-4-2標(biāo)準(zhǔn)的理想波形，并且避免許多靜電放電槍測(cè)試時(shí)可能出現(xiàn)的問(wèn)題，例如可重復(fù)性差，放電位置不對(duì)，由未屏蔽繼電器產(chǎn)生的EMI互擾，需要設(shè)置大接地平板和耦合板。
系統(tǒng)有完整的軟件控制，可定制上升沿時(shí)間和脈沖寬度，與IVI儀器有良好的兼容性，體積小。
TLP傳輸線脈沖測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)：
配置靈活的TLP IV曲線脈沖測(cè)試分析系統(tǒng)
超便攜設(shè)計(jì)
超快測(cè)試速度，程序并行處理
目前測(cè)試版本有25A，50A和100A模塊
高質(zhì)量TLP脈沖
可擴(kuò)展的測(cè)試模塊包括vf-TLP，HMM，HBM和低壓浪涌
自動(dòng)化故障檢測(cè)方法包括：DC抽查 (電壓或電流)，靜態(tài)IV，熔融，擊穿，偏置源波動(dòng)以及客戶自定義
軟件控制的脈沖注入：?jiǎn)未危B續(xù)，IV-曲線表征
上升沿選項(xiàng)：60ps至 50ns(取決于模塊)
脈沖寬度選項(xiàng)：1ns至3200ns(取決于模塊)
TLP傳輸線脈沖測(cè)試系統(tǒng)應(yīng)用：
晶圓級(jí)ESD測(cè)試
PCB/封裝級(jí)ESD測(cè)試
系統(tǒng)/電路ESD測(cè)試
安全工作區(qū) (SOA) 測(cè)試
充電恢復(fù)時(shí)間測(cè)試
差分ESD脈沖注入
觸摸屏ITO微帶線熔斷測(cè)試
觸摸屏ITO微帶線火花放電測(cè)試
TLP注入電流脈沖符合并超過(guò)ANSI/ESD STM 5.5.1-2008標(biāo)準(zhǔn)
vf-TLP注入電流脈沖符合并超過(guò)ANSI/ESD SP5.5.2-2007標(biāo)準(zhǔn)
對(duì)于低阻抗器件，HMM的注入電流脈沖與IEC61000-4-2波形相符
規(guī)格：
ES620基于傳輸線脈沖的IV-曲線測(cè)試系統(tǒng)
參量 | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 單位 | 備注 |
開(kāi)路輸出電壓 | ±0.5~1250 | ±0.5~2500 | ±0.5~5000 | V | |
50?負(fù)載時(shí)，輸出電壓 | ±0.25–625 | ±0.5~1250 | ±0.5~2500 | V | |
50?負(fù)載時(shí)，小電壓步長(zhǎng)低電壓–40V | 0.01 | 0.01 | 0.02 | V | 帶46dB反射抑制 |
50?負(fù)載時(shí)，小電壓步長(zhǎng)40V至 高電壓 | 0.1 | 0.1 | 0.2 | V | 帶6dB反射抑制 |
輸出電壓誤差 | <5%<> | % | 自校準(zhǔn)后 | ||
短路輸出電流 | ±0.01~25 | ±0.02~50 | ±0.04~100 | A | |
50?負(fù)載時(shí)，輸出電流 | ±0.005~12.5 | ±0.01~25 | ±0.02~50 | A | |
50?負(fù)載時(shí)，峰值功率 | ≥7.813 | ≥31.25 | ≥125 | kW | |
自帶TLP上升沿時(shí)間 | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.3 | ns | ES620-25可達(dá)60ps |
其他上升沿時(shí)間選項(xiàng) | 0.06~50 | ns | 與模型有關(guān)，請(qǐng)看表2 | ||
自帶TLP脈沖寬度 | 100±1 | ns | 自定義 | ||
其他脈寬選項(xiàng) | 1~3200 | 5~1000 | 5~1000 | ns | 與模型有關(guān)，請(qǐng)看表3 |
測(cè)試間隔時(shí)間 | 一般為0.2~2 | s | 與示波器，SMU和規(guī)定有關(guān) | ||
尺寸 | 347X300X145 | mm | |||
重量 | 5 | 6 | 8 | kg | |
I&V直接測(cè)量 | I&V直接測(cè)量探頭A6213-T1 (CT-2電流探頭和1KT型電壓探頭) | ||||
可配用示波器 | Tektronix，Agilent，LeCroy，Rigol的大部分型號(hào) | 其他型號(hào)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行匹配支持 | |||
可配用SMU | Keithley 24xx/26xx系列SMU | 其他型號(hào)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行匹配支持 | |||
ES620-HMM1擴(kuò)展的人體金屬模型模塊(DUT為短路，100?HMM，基于ANSI/ESD SP5.6-2009標(biāo)準(zhǔn))
參數(shù) | ES620-25 | ES620-50 | ES620-100 | 單位 | 備注 |
HMM峰值電流 | 22.5 | 45 | 90 | A | 每千伏3.75A≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330?，C=150pF) |
30ns時(shí)的HMM 電流 | 12 | 24 | 48 | A | ≤±10% (優(yōu)于IEC的±30% ) |
60ns時(shí)的HMM 電流 | 6 | 12 | 24 | A | ≤±10% (優(yōu)于IEC的±30% ) |
ES620-HBM1擴(kuò)展的人體模型模塊(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2014 R=1.5k?，C=100pF)
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