ESD掃描測試系統探頭由具有軟件控制的機器手定位在所需的測試點，觸發耦合，并記錄被測器件的響應以進行相對抗擾度水平比較。簡化的抗擾度設置圖和抗擾度示例圖（敏感性圖）如下所示：
ESD抗擾度掃描儀的應用
根據IEC 61000-4-2型式試驗確定敏感的點、區域或痕跡
開發初期系統級ESD測試性能評估
設計變更前后相對抗擾度水平比較
選擇更多防靜電零部件（供應商A優于B）
靜電盒由TLP傳輸線脈沖和故障檢測單元組成
故障檢測單元
四個模擬信號輸入
四個數字信號輸入
三輔助輸入
遠程控制DUT電源循環用120V和DC電源
用于圖像變化檢測的光學傳感器
用于聲音開/關檢測的微型電話
DUT控制器的集成
多信號同時監測
監測信號的布爾運算，以控制被測器件的復位和故障類型的分類
TLP傳輸線脈沖
200V至8,000V傳輸線充電電壓
<300>6 ns的下降時間，以防止在兩個邊緣引起故障
ESD掃描測試系統硬件配置參數：
型號 | ESD-350 | ESD-550 |
掃描儀圖片 | ||
款式 | 桌面式 | 獨立式 |
探頭定位 (1) | 350mm 4軸機械手 | 550mm 4軸機械手 |
Z向行程 | 150mm | 150mm |
大掃描區域 | 1500cm2 | 4150cm2 |
精度 | 100um | 100um |
重復性 | < 50um | < 50um |
占用空間 | 27" x 25" x 37" (WxDxH) | 59" x 33" x 72" (WxDxH) |
靜電探頭 (2) | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm |
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