ESD掃描測(cè)試系統(tǒng)探頭由具有軟件控制的機(jī)器手定位在所需的測(cè)試點(diǎn)，觸發(fā)耦合，并記錄被測(cè)器件的響應(yīng)以進(jìn)行相對(duì)抗擾度水平比較。簡(jiǎn)化的抗擾度設(shè)置圖和抗擾度示例圖（敏感性圖）如下所示：
ESD抗擾度掃描儀的應(yīng)用
根據(jù)IEC 61000-4-2型式試驗(yàn)確定敏感的點(diǎn)、區(qū)域或痕跡
開(kāi)發(fā)初期系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試性能評(píng)估
設(shè)計(jì)變更前后相對(duì)抗擾度水平比較
選擇更多防靜電零部件（供應(yīng)商A優(yōu)于B）
靜電盒由TLP傳輸線脈沖和故障檢測(cè)單元組成
故障檢測(cè)單元
四個(gè)模擬信號(hào)輸入
四個(gè)數(shù)字信號(hào)輸入
三輔助輸入
遠(yuǎn)程控制DUT電源循環(huán)用120V和DC電源
用于圖像變化檢測(cè)的光學(xué)傳感器
用于聲音開(kāi)/關(guān)檢測(cè)的微型電話
DUT控制器的集成
多信號(hào)同時(shí)監(jiān)測(cè)
監(jiān)測(cè)信號(hào)的布爾運(yùn)算，以控制被測(cè)器件的復(fù)位和故障類(lèi)型的分類(lèi)
TLP傳輸線脈沖
200V至8,000V傳輸線充電電壓
<300>6 ns的下降時(shí)間，以防止在兩個(gè)邊緣引起故障
ESD掃描測(cè)試系統(tǒng)硬件配置參數(shù)：
型號(hào) | ESD-350 | ESD-550 |
掃描儀圖片 | ||
款式 | 桌面式 | 獨(dú)立式 |
探頭定位 (1) | 350mm 4軸機(jī)械手 | 550mm 4軸機(jī)械手 |
Z向行程 | 150mm | 150mm |
大掃描區(qū)域 | 1500cm2 | 4150cm2 |
精度 | 100um | 100um |
重復(fù)性 | < 50um | < 50um |
占用空間 | 27" x 25" x 37" (WxDxH) | 59" x 33" x 72" (WxDxH) |
靜電探頭 (2) | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm | Hx/y – 1mm and 5mm Hz – d=8mm Ez – d=8mm |
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