ES640充電器件模型（CDM）測試系統介紹：
1.描述
充電器件模型（CDM）靜電放電是微電子電路故障的常見原因。較低電壓下的CDM放電會嚴重損壞或損毀靈敏設備。當帶靜電的設備以不同的電位接觸金屬表面時，通常會發生這種情況。這種靜電放電通常具有非常快的上升時間。
ES640是一款自動化的CDM測試儀，可滿足所有流行的CDM測試方法，支持場感應空氣放電方法（FICDM）和接觸放電（LI-CCDM、CC-TLP、RP-CCDM）方法。本測試系統包含計算機、環境控制室、精確的XYZ運動控制系統、不同類型的CDM測試儀頭以及自動測試和數據分析軟件。
以下是ESDEMC ES640 CDM解決方案與其他解決方案的比較，包括Thermo Scientific Orion3 CDM測試儀、Hanwa HED-C5000R等。
2.特點
高分辨率攝像頭（可多達3個）可輕松進行引腳對齊操作
高分辨率運動控制系統（步長低至1µm）
允許批量測試多個設備
正在申請的CCDM方法具有更好的可重復性
密閉的環境室提高了干燥單元的效率
支持再生干燥單元（無需氮氣）
3.應用
用于封裝和晶圓級測試的通用CDM系統
支持許多流行的CDM方法：
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)
AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)
AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)
ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM，需要vf-TLP)
CC-TLP (待批準的ESDA SP，需要vf-TLP)
我司申請中的RP-CCDM方法
可根據客戶要求提供已停用或定制的解決方案
機器人帶電板模型(CBM）和平板ESD測試可自定義尺寸
4.規格
參數 | ES640-150 | ES640-300 | 單位 | 備注 | |||
最大XY測試面積 | ≥150X150 | ≥300X300 | mm | 探針移動面積，可定制 | |||
最大DUT面積 | 160X160 | 375X425 | mm | ||||
充電板面積 | 210X210 | 395X470 | mm | ||||
Z行程 | ≥50 | ≥150 | mm | ||||
最小X, Y, Z步長 | 100 | nm | |||||
復位重復能力 | ≤±6 | μm | |||||
測試電壓范圍 | ±1至2000或4000 | V | 默認2000V，可定制 | ||||
測試電壓階躍 | 1 | V | |||||
測試電壓精度 | ±1%±0.1V | %V | |||||
XY視野分辨率 | 1920X1080 | 像素 | |||||
垂直視野分辨率 | 2592X1944 | 像素 | |||||
運行溫度 | 10至40 | °C | |||||
運行濕度(RH) | 10至80 | % | |||||
電壓 | 120-240VAC，50/60Hz | VAC | |||||
N2或CDA壓強 | 10–120 | PSI | |||||
N2或CDA峰值用量 | 0.2 | cfm | 或0.34m3h | ||||
300 N2箱平均用量 | ~19 | 小時 | 持續的@40RH環境 | ||||
干燥劑平均用量 | ~24 | 小時 | 持續的@40RH環境 | ||||
5.訂購信息
編號 | 型號 | 描述 |
ES640帶電器件模型（CDM）測試系統 | ||
1.1 | ES640-150 | 通用CDM平臺，150X150mm測試區域，2kV |
1.2 | ES640-300 | 通用CDM平臺，300X300mm測試區域，2kV |
1.3 | ES640-HC | 用于空氣放電方法的濕度調節單元 (用戶可重復使用干燥劑，比N2或CDA的使用成本更低) |
1.4 | ES640-CV4 | 放電電壓從2kV提升到4kV |
1.5 | ES640-CPC | 場板定制，用于固定200X300DUT |
1.6 | ES640-VP1 | 用于固定DUT的真空泵 (可選，軟件控制) |
1.7 | ES640-VP2 | 高壓尖部清潔單元(可選，軟件控制) |
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018標準相關配置( 包括AEC_Q100-011D，AEC_Q101-005A在內均遵循此標準) | ||
2.1 | ES640-JS002 | JS002放電單元 |
2.2 | ES640-JS002-C | JS002/C101校準盤(小盤和大盤) |
2.3 | ES640-JS002-P1 | JS002可替代Pogo Pin #1 (直徑0.35mm) |
已停用的AEC標準相關配置(不推薦用于新設計)ES640充電器件模型（CDM）測試系統 | ||
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