這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 混氣系統(tǒng)3路浮子--GSL-3F 浮子流量計(jì) 三種不同量程的浮子流量計(jì)，控制精度4%。 A:10-100ml/min B:16-160ml/min C:25-250ml/min 機(jī)械壓力表（混氣罐） -0.1-0.15MPa 接頭和氣管 在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個(gè)氣體進(jìn)口 兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個(gè)通道不通過氣體混合管。 兩個(gè)出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)（一路混合氣體和一路單獨(dú)的氣體）。 12"長1/4"直徑的聚四氟管及快插接頭。 真空針閥 采用SS304不銹鋼。 安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)。 安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪 外形尺寸:600L×600W×650H mm 可選 CVD 或者PECVD 液相氣體發(fā)生器 凈重 約75kg 質(zhì)保期 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 免責(zé)聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包含產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考。可能由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差，如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，怒不另外通知，請(qǐng)您見諒。
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