微電子等離子清洗機PT-2S
等離子清洗機型號：
?不銹鋼艙體：Φ100mm×270mm
?處理過程：分手動與自動控制
PLC觸摸屏控制
?功率：150W
?電源：220V
?射頻電源：40KHz（13.56KHZ可選配)
?外形型號：440390200
容量：2升
深圳三和波達機電科技有限公司生產的等離子清洗機PT-2S的基本結構：
1、射頻電源部分：射頻源，射頻調節，功率放大，功率調節，功率輸出，輸出保護，等離子電極，溫度保護。
2、系統控制部分：數字自控，I/O控制，真空度A/D檢測，脈寬比例D/A調節，參數記憶，時鐘設定。
3、真空與氣路部分：真空系統，外加氣體，流量調節，回氣與管路
三和波達等離子清洗機、對于小型等離子清洗機而言，由于射頻功率較小，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內，一是減少空間的占用，二是便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設置上盡量簡練。圖1為小型機外形。
小型等離子清洗機的工作流程和技術條件：
深圳小型等離子清洗機的系統在滿足設定真空度的條件下，啟動射頻源工作，產生40KHz的射頻脈沖，經過功率放大送到輸出級，輸出級的作用有三點：一是隔離，二是升壓，三是匹配，使具有足夠能量的射頻脈沖去激發高壓極板產生等離子。
功率大小的控制與調節可在系統中進行數字設置，也可通過手動調節。實質上功率的調節是由改變射頻脈沖寬度來實現的，圖4和圖5兩個射頻脈沖坐標示意圖很形象的說明了功率調節的原理。
這里所說的理想情況下的射頻脈沖輸出，是不考慮器件和磁性材料的損耗而表示的，實際的射頻脈沖波形都是有一定畸變的，但當畸變程度過大時，就會使輸出的有效功率大大降低，不僅不能正常產生等離子，而且還會燒毀設備。另外過多諧波脈沖分量也會造成射頻效率的降低，使設備不能正常工作，甚至燒毀。因此等離子清洗機對射頻電源的技術要求是很高的
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