LDSS-60系列掃描電子顯微鏡簡介
LDSS-60 SEM Introduction
一、產品命名規則：
LDSS-60系列產品作為基礎款臺式掃描電鏡，能滿足大部分用戶的基本實驗需求，配置SE二次電子探測器與BSE背散射電子探測器，載物平臺可配置三軸（X,Y,R）手動平臺，也可升級為五軸（X,Y,R,Z,T）自動平臺，全系列產品均可配置EDS能譜分析儀，產品包括如下配置：
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | LDSS-60 | LDSS-60S | LDSS-60S-MS |
LDSS-60D | LDSS-60D-MS | ||
LDSS-60D-ST |
型號命名規則如下：
二、簡單說明：(Description)
（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）高真空配置（High Vacuum System）
（6）Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技術參數：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 20nm (30kV, SE Image) |
25nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (多檔可選) |
圖像檢測 （Signal Detection）
| 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
Multi Detector (SEI+BSEI) | |
觀察模式 Observation mode | 標準模式 |
電子槍系統（Electron Gun） | |
燈絲類型（Filament type） | 預對中鎢燈絲 |
偏壓系統 lt; | |
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