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　　等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。

　　真空等離子清洗機

　　1、對材料表面的刻蝕作用–物理作用：

　　等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

　　2、激活鍵能，交聯作用：

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

　　3、形成新的官能團–化學作用：

　　如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

　　真空等離子清洗機是利用等離子體內的各種具有高能量的物質的活化作用，將附著在物體表面的污垢剝離去除。下面以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，說明這些作用。等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發生燃燒反應;但不同之處是其在低溫情況下發生的“燃燒"。其基本原理:在氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發態的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。