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　　受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。

　　能量色散x射線熒光光譜儀，利用脈沖高度分析器進行能量色散的x射線熒光光譜儀公與波長色散x射線熒光光譜儀相比，它的結構簡單。可使用小功率x射線管激發和簡單的分光系統。