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　　由光源激發樣品所產生的特征X射線直接進入探測器，探測器將光信號轉化為電信號，由主放大器輸出的脈沖傳送到ADC（模數轉換器），脈沖幅度的模擬信號在這里轉換成數字信號，產生的數字作為與多道分析器（MCA）連接的地址，然后根據這些地址分檢不同的脈沖即X射線的能量，并記錄相應的脈沖數目。

　　能量色散x射線熒光光譜儀，利用脈沖高度分析器進行能量色散的x射線熒光光譜儀公與波長色散x射線熒光光譜儀相比，它的結構簡單。可使用小功率x射線管激發和簡單的分光系統。

　　采用半導體探測器和多道脈沖高度分析器可提高分辨本領，由微處理機處理，可同時惻定試樣中}o一sn種元素，分析速度快。