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　　X射線和β射線法是無接觸無損測量，測量范圍較小，X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時(shí)采用。

　　Ux-720高分辨率CCD

　　260萬像素的高清CCD攝像頭，可有效的實(shí)時(shí)觀察測試區(qū)域狀況，并拍下物料照片，作為檢測報(bào)告的組成部分。

　　Ux-720光管

　　功能：產(chǎn)生X射線激發(fā)樣品，使激發(fā)的樣品中的每一種元素放射出二次X射線。

　　使用時(shí)間：壽命大于萬小時(shí)

　　電 壓: 0 ~ 50 kV

　　功率: 50 W

　　靶 材：Mo

　　Be窗厚度：400um

　　Ux-720探測系統(tǒng)

　　功能：對樣品特征X射線進(jìn)行探測，將采集來的信號進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，并將處理結(jié)果傳輸給計(jì)算機(jī)。

　　類型：Si-PIN X-123(美國)

　　Be窗 1mil()

　　分辨率：145±5eV

　　系統(tǒng)峰背比：≥ 6200/1

　　能量響應(yīng)范圍：1keV — 40keV

　　推薦計(jì)數(shù)率：5000cps