Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1測量0.6米工件 觸摸屏操作)
注：更多型號參數，請直接咨詢客服
面型干涉是目主流的光學表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。
VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷處的振動免疫） 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十 分精密的環境下工作”的認知。
Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1測量0.6米工件 觸摸屏操作),Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1測量0.6米工件 觸摸屏操作)
30 納米 jue對精度,1nm重復精度
0.6 米直徑工件, 僅需 1 測量
表面形貌 3D 成像
全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現已支持Windows11
自動調平選件,讓全自動測量成為現實
成盤測量選件 實現生產過程控制
一臺機器可測量多種工件 通過更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…
能夠測量的工件
直徑 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三維成像
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通過光路擴展, 測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通過CGH補償器, 測量復雜曲面
黑色或透明工件, 仍然能夠測量
適合半導體應用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。
適合半導體應用的jue對測距干涉，量程 > 100 μm 可進行臺階、翹曲度、熱變形的測量。
出色的動態范圍， 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。
將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結構設計
根據文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。 因此, 我們將機械結構的 7 階模態設計到 127 Hz， 大大降低了機械結構對振動的敏感性
超高重復精度
對一片 250mm 直徑的平晶進行 1000 次連續測量。
PV 值的重復精度為 5.7 納米 (1/111 λ）
RMS 值的重復精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,數據未經人為修改
三維成像原理
面型干涉是目主流的光學表面計量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技術原理
選件
VICT High 超高精度 測量模式
支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復精度 和1納米（1/633 λ）PV重復精度， 對環境擾動進行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內的負面影響排除。
沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導致被測物面型被“美化” 。
VICT Dop 多普勒抗振動測量模式
非常惡劣的工業環境下仍正常工作，所有模式中zui高的測量效率， 允許不使用隔振平臺。
蒙版跟蹤
超分辨三維圖
清潔度分析
基礎配置
| 主機 | 型號 | 測量尺寸(圓形-直徑)(注1) | 立式使用 | 臥式使用 | |
| Type100 | 102mm | OK | OK | ||
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK | ||
| Type250 | 250mm | OK | OK | ||
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | ||
| Type450 | 457.2 mm | x | OK | ||
| Type600 | 609.6 mm | x | OK | ||
| 注1:在80%直徑以內使用時,可以獲得更好的測量效果。 注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。 | |||||
| 激光測距點數 | 標準 | 692,224 | |||
| 高清 | 2,663,424 | ||||
| 高速 | 186,623 | ||||
| 超高速 | 692,224 | ||||
| 測量激光 | 激光器類型 | 波長(nm) | 8h波長穩定度(nm)(注1) | 壽命(h)(注2) | |
| 穩定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | ||
| 穩定半導體(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | ||
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | ||
| 高效半導體(注4) | 635 | 6 | 5,000 | ||
| 注1:在恒溫,隔振的實驗室測試。 注2:由激光器廠家提供的參考壽命。 注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST | |||||
| 計算機 | CPU | 獨立顯卡 | 顯示屏 | 操作系統 | |||
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | ||||
| 測量軟件 | Victsir軟件模塊 | 掃描方式 | 單平面干涉(注1) | 雙平面干涉(注2) | |||
| Victsin Static (注3) | 無 | OK | X | ||||
| Victsin PSI | 壓電振鏡 | OK | X | ||||
| Victsin MST | 波長調諧 | OK | OK | ||||
| 注1:適用于大部分工件。 注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進行測量。 注3:基礎版本,不推薦用于高精度測量。 | |||||||
測量精度
| jue對精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
| 注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實際測量的jue對精度=jue對精度＋重復精度。 注2:波長為測量激光的波長，例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標準平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯系銷售人員。 注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數值請聯系銷售人員確認。 | |||
| 重復精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:實際精度與測量環境有關，zui高精度與VICT-High相同,表格內數值考慮了輕微的環境擾動。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀，大多使用PV值來表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ時，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重復精度定義
連續100次測量的允差 (95%置信度)
測試環境
樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內空調關閉，以避免氣流擾動。
被測物
直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性與環境要求
| 硬件可靠性 | 平均工作時間>1000小時 平均連續工作時間>12小時/天 | |
| 軟件可靠性 | 平均連續工作時間>12小時/天 | |
| 對準角度允差 | ± 3° | |
| 光瞳調焦范圍 | ≥±1.5米 | |
| 運輸和貯存 | 溫度 | +10~+40 °c |
| 濕度 | RH≤60% | |
| 工作條件 | 溫度 | +20~+25℃ |
| 溫度變化 | ≤±1℃ @24小時 | |
| 濕度 | RH≤50% | |
| 電壓 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
公司簡介
筱曉(上海)光子技術有限公司是一家被上海市評為技術企業的業光學服務公司，業務涵蓋設備代理以及項目合作研發，公司位于大虹橋商務板塊，擁有接近2000m²的辦公區域，建有500平的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內外客戶提供業技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統集成業務。依托業、強大的技術支持，以及良好的商務支持團隊，筱曉的業務范圍正在逐年增長。目業務覆蓋國內外各高校、頂科研機構及相關域等諸多企事業單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及業的研發實驗室，奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發域堅實的基礎。
主要經營
激光器/光源
半導體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子聯激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續激光器、超短脈沖激光器）
光學元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學晶體、光纖隔離器/環形器、脈沖驅動板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準直器、光接收組件、激光控制驅動器等各種無源器件
激光分析設備
高精度光譜分析儀、自相關儀、偏振分析儀，激光波長計、紅外相機、光束質量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設備
光纖拉錐機、裸光纖研磨機 。
更新時間：2023/8/14 11:34:11
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