臺式X射線源
激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。
產品特點：
低殘留
高EUV能量（ MJ）
耗氣量（氣體脈沖持續時間 lt;1 ms）
簡單目標氣體交換
桌面系統
技術參數：
測試數據展示：
產品應用：
計量：反射測量、吸收
光譜學（nexafs）
光學/傳感器測試
EUV損壞調查
材料相互作用基礎研究
水窗顯微鏡（λ=納米）
筱曉（上海）光子技術有限公司
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臺式X射線源 激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產生
臺式X射線源
激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。
產品特點：
低殘留
高EUV能量（ MJ）
耗氣量（氣體脈沖持續時間 lt;1 ms）
簡單目標氣體交換
桌面系統
技術參數：
測試數據展示：
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計量：反射測量、吸收
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